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日前,中国本土半导体传来好消息设备。微半导体设备(沪)有限公司自主研发的5nm等离子蚀刻机已通过TSMC验证,性能优异,将用于全球首条5nm工艺生产线。蚀刻机是芯片制造中的关键设备之一。Micromicro突破了关键核心技术,使“中国制造”跻身蚀刻机国际第一梯队。近年来,中国大陆半导体设备企业一直在努力追赶国际先进步伐。各个领域都有一些突破设备。除了上面提到的用于微中型半导体的5nm等离子蚀刻机,越来越多的产品可以应用于14nm和7nm工艺。
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