化学机械抛光，物理抛光和化学抛光有什么区别

本文目录一览

1，物理抛光和化学抛光有什么区别
2，电化学机械抛光使用直流电源好还是脉冲电源好
3，Chemical Mechanical Planarization 什么意思
4，机械抛光与电解抛光和化学抛光的区别
5，不锈钢抛光的化学抛光
6，抛光都有哪些常见的方式方法

1，物理抛光和化学抛光有什么区别

物理抛光和化学抛光有的区别物理抛光是用机械方式将物体表面整平，例如研磨等。化学抛光是用化学腐蚀的方式将物体表面整平，例如用加入整平剂的硫酸清洗金属表面。

物理抛光和化学抛光有什么区别

2，电化学机械抛光使用直流电源好还是脉冲电源好

脉冲电源好，机械抛光是依靠非常细小的抛光粉的磨削、滚压作用，除去试样磨面上的极薄一层金属。如果抛光前磨面上留有较深的磨痕，仅采用机械抛光是难以去除的。

电解电源一般使用高频脉冲电源比较好，12v多少a看设备的槽多大了

电化学机械抛光使用直流电源好还是脉冲电源好

3，Chemical Mechanical Planarization 什么意思

化学机械抛光（Chemical mechanical planarization，CMP）技术于90年代前期开始被引入半导体硅晶片工序，从氧化膜等层间绝缘膜开始，推广到聚合硅电极、导通用的钨插塞（W-Plug）、STI（元件分离），而在与器件的高性能画同时引进的铜布线工艺技术方面，现在已经成为关键技术之一。虽然目前有多种平坦化技术，同时很多更为先进的平坦化技术也在研究当中崭露头角，但是化学机械抛光已经被证明是目前最佳也是唯一能够实现全局平坦化的技术。进入深亚微米以后，摆在CMP面前的代表性课题之一就是对于低介电常数材料的全局平

Chemical Mechanical Planarization 什么意思

4，机械抛光与电解抛光和化学抛光的区别

机械抛光。买个手动抛光机，就是一个手动电钻，钻头换成抛光钢丝刷或者磨石。成本100-500元，操作简单，见效快。不过效果：粗糙度SA2级吧电解抛光化学抛光这个投资大呀，需要专门的槽子，配一次抛光液花费就不少，还不能保证成功。当然，水平高的话，可以达到瑞典Sa2.5级

电解抛光，是金属零件在特定条件下的阳极侵蚀。这一过程能改善金属表面的微观几何形状，降低金属表面的显微粗糙程度，从而达到使零件表面光亮的目的。化学抛光，是金属零件在特定条件下的化学浸蚀。在这一浸蚀过程中，金属表面被溶液浸蚀和整平，从而获得了比较光亮的表面。

5，不锈钢抛光的化学抛光

化学抛光是不锈钢常用的表面处理工艺，与电化学抛光工艺相比，其最大优点是不需要直流电源和特殊夹具，可以抛光形状复杂的零件，生产率很高。就功能性而言，化学抛光除了能得到物理、化学清洁度的表面外，还能除去不锈钢表面的机械损伤层和应力层，得到机械清洁度的表面，这有利于防止零件的局部腐蚀，提高机械强度、延长零件使用寿命。从本世纪40年代初有了关于不锈钢化学抛光的专利以来，迄今已有不少配方公诸于世，但人们在实际应用时仍然感到很困难。因为不锈钢品种繁多，不同牌号的不锈钢具有不同的腐蚀规律，不可能采用同一种溶液，所以不锈钢化学抛光溶液有多种类型。化学抛光溶液的基本组成包括腐蚀剂、氧化剂和水。腐蚀剂是主要成份，如果不锈钢在溶液中溶解，抛光便不能进行。氧化剂和添加剂可抑制过程，使反应朝有利于抛光的方向进行。水对溶液浓度起调节作用，便于反应产物的扩散。不锈钢化学抛光能否顺利进行，取决于上述成分的合理配合。

电解抛光的特点: 电解抛光是利用不锈钢在电解液中的选择性阳极溶解而达到抛光和清洁表面目的的一种表面处理方法。具有以下优点：(1)极大提高表面耐蚀性。由于电解抛光对元素的选择性溶出,使得表面生成一层致密坚固的富铬固体透明膜,并形成等电式表面,从而消除和减轻微电池腐蚀。(2)电解抛光后的微观表面比机械抛光的更平滑,反光率更高。这使得设备不粘壁、不挂料、易清洗，工件表面约减少1丝左右，达到gmp和fda规范要求。(3)电解抛光不受工件尺寸和形状的限制。对不宜进行机械抛光的工件可实施抛光，例如细长管内壁、弯头、螺栓、螺母和容器内外壁。电解抛光优于机械抛光：a.有表面等电势条件； b.不易捕获污染物； c.表面可形成更具有耐蚀性的透明固体盐膜； d.不产生beillby层。电化学抛光的特点：电化学抛光是利用金属电化学阳极溶解原理进行修磨抛光。将电化学预抛光和机械精抛光有机的结合在一起，发挥了电化学和机构两类抛光特长。它不受材料硬度和韧性的限制，可抛光各种复杂形状的工件。其方法与电解磨削类似。优点：所加工的不锈钢更镜面化。

6，抛光都有哪些常见的方式方法

1、机械抛光机械抛光是靠切削、材料表面塑性变形去掉被抛光后的凸部而得到平滑面的抛光方法，一般使用油石条、羊毛轮、砂纸等，以手工操作为主，特殊零件如回转体表面，可使用转台等辅助工具，表面质量要求高的可采用超精研抛的方法。超精研抛是采用特制的磨具，在含有磨料的研抛液中，紧压在工件被加工表面上，作高速旋转运动。利用该技术可以达到Ra0.008μm的表面粗糙度，是各种抛光方法中最高的。光学镜片模具常采用这种方法。2、化学抛光化学抛光是让材料在化学介质中表面微观凸出的部分较凹部分优先溶解，从而得到平滑面。这种方法的主要优点是不需复杂设备，可以抛光形状复杂的工件，可以同时抛光很多工件，效率高。化学抛光的核心问题是抛光液的配制。化学抛光得到的表面粗糙度一般为数10μm。3、电解抛光电解抛光基本原理与化学抛光相同，即靠选择性的溶解材料表面微小凸出部分，使表面光滑。与化学抛光相比，可以消除阴极反应的影响，效果较好。电化学抛光过程分为两步：(1)宏观整平溶解产物向电解液中扩散，材料表面几何粗糙下降，Ra>1μm。(2)微光平整阳极极化，表面光亮度提高，Ra<1μm。4、超声波抛光将工件放入磨料悬浮液中并一起置于超声波场中，依靠超声波的振荡作用，使磨料在工件表面磨削抛光。超声波加工宏观力小，不会引起工件变形，但工装制作和安装较困难。超声波加工可以与化学或电化学方法结合。在溶液腐蚀、电解的基础上，再施加超声波振动搅拌溶液，使工件表面溶解产物脱离，表面附近的腐蚀或电解质均匀；超声波在液体中的空化作用还能够抑制腐蚀过程，利于表面光亮化。5、流体抛光流体抛光是依*高速流动的液体及其携带的磨粒冲刷工件表面达到抛光的目的。常用方法有：磨料喷射加工、液体喷射加工、流体动力研磨等。流体动力研磨是由液压驱动，使携带磨粒的液体介质高速往复流过工件表面。介质主要采用在较低压力下流过性好的特殊化合物并掺上磨料制成，磨料可采用碳化硅粉末。6、磁研磨抛光磁研磨抛光是利用磁性磨料在磁场作用下形成磨料刷，对工件磨削加工。这种方法加工效率高，质量好，加工条件容易控制，工作条件好。采用合适的磨料，表面粗糙度可以达到Ra0.1μm。

1.机械抛光机械抛光是依靠非常细小的抛光粉的磨削、滚压作用，除去试样磨面上的极薄一层金属。如果抛光前磨面上留有较深的磨痕，仅采用机械抛光是难以去除的。因为若将磨痕抛掉，势必要加浓抛光液，加长时间或加重抛光时所施加的压力，导致磨面表层金属流动和扰乱，试样磨面变形层加厚，使一些合金中的晶相脱落。尤其是硬度不太大铝合金是时，磨面表层的氧化将更厉害，从而影响组织观察。所以进行机械抛光的试样在细磨后只允许留有单一方向均匀的细磨痕。2.化学抛光化学抛光是靠化学试剂的化学浸蚀作用对样品表面凹凸不平区域的选择性溶解作用消除磨痕、浸蚀整平的一种方法。化学抛光设备简单，能够处理细管、带有深孔及形状复杂的零件，生产效率高。化学抛光可作为电镀预处理工序，也可在抛光后辅助以必要的防护措施直接使用。3.电解抛光电解抛光是指金属制品在一定组成的溶液中进行特殊的阳极处理，以获得平滑、光亮表面的精饰加工过程。它既可以作制品电镀前的表面准备，也可作镀后表面的精饰，还可作为金属表面独立的精饰加工方法。广东熙泉机电有限公司5.磁性研磨抛光磁性研磨抛光的方法是采用磁性研磨剂，通过磁场中磁力的作用，磁性研磨剂工作在表面，同时保持在模具表面和磁极之间间断工作。因此在制造过程中磁粒被有序的安排在沿着磁力线周围。同时形成了磁性刷，在磁力作用下围绕在模具表面。由于磁场和被加工件的旋转会使磁性刷和被加工件的表面产生一个相关的运动，这样可以用磁性研磨剂来抛光被加工件表面。通常在抛光时用一些仪器，例如数字控制磨机或者加工中心。6.流体抛光流体抛光是依靠高速流动的液体及其携带的磨粒冲刷工件表面达到抛光的目的。常用方法有：磨料喷射加工、液体喷射加工、流体动力研磨等。流体动力研磨是由液压驱动，使携带磨粒的液体介质高速往复流过工件表面。介质主要采用在较低压力下流过性好的特殊化合物（聚合物状物质）并掺上磨料制成，磨料可采用碳化硅粉末。7.磁流变抛光磁流变抛光技术，是利用磁流变抛光液在梯度磁场中发生流变而形成的具有黏塑行为的柔性"小磨头"与工件之间具有快速的相对运动，使工件表面受到很大的剪切力，从而使工件表面材料被去除。磁流变抛光(MRF)是电磁理论、流体力学、分析化学等应用于光学表面加工而形成的一项综合技术。磁流变液是一种智能材料，其在磁场的作用下，可在1ms的时间内实现固-液两相的可逆转换。8.化学机械抛光（CMP） CMP，即Chemical Mechanical Polishing，化学机械抛光。CMP技术所采用的设备及消耗品包括：抛光机、抛光浆料、抛光垫、后CMP清洗设备、抛光终点检测及工艺控制设备、废物处理和检测设备等。CMP技术的概念是1965年由Monsanto首次提出。该技术最初是用于获取高质量的玻璃表面，如军用望远镜等。1988年IBM开始将CMP技术运用于4MDRAM 的制造中，而自从1991年IBM将CMP成功应用到64MDRAM 的生产中以后，CMP技术在世界各地迅速发展起来。区别于传统的纯机械或纯化学的抛光方法，CMP通过化学的和机械的综合作用，从而避免了由单纯机械抛光造成的表面损伤和由单纯化学抛光易造成的抛光速度慢、表面平整度和抛光一致性差等缺点。它利用了磨损中的“软磨硬”原理，即用较软的材料来进行抛光以实现高质量的表面抛光。 CMP抛光液是以高纯硅粉为原料，经特殊工艺生产的一种高纯度低金属离子型抛光产品，广泛用于多种材料纳米级的高平坦化抛光。广东熙泉机电有限公司。

1.电抛光后，表面为什么会发现似未抛光的斑点或小块？原因分析：抛光前除油不彻底，表面尚附有油迹。2.抛光过后表面局部为什么有灰黑色斑块存在？原因分析：可能氧化皮未彻底除干净。局部尚存在氧化皮。解决方法：加大清除氧化皮力度，可选用“ 不锈钢氧化皮清除液”，“不锈钢氧化皮清除膏”等产品。因除锈除氧化皮产品较多，具体适用产品可咨询威海云清化工开发院。3.抛光后工件棱角处及尖端过腐蚀是什么原因引起的？原因分析：棱角、尖端的部位电流过大，或电解液温度过高，抛光时间过长，导致过度溶解。解决方法：调整电流密度或溶液温度，或缩短时间。检查电极位置，在棱角处设置屏蔽等。4.为什么工件抛光后不光亮并呈灰暗色？分析原因：可能电化学抛光溶液已不起作用，或作用不明显。解决方法：检查电解抛光液是否使用时间过长，质量下降，或溶液成分比例失调。5.工件抛光后表面有白色的条纹是怎么回事？原因分析：溶液相对密度太大，液体太稠，相对密度大于1.82。解决方法：增大溶液的搅拌程度，如果溶液相对密度太大，用水稀释至1.72。在90~100℃条件下并加热一小时。6.为什么抛光后表面有阴阳面，及局部无光泽的现象？原因分析：工件放置的位置没有与阴极对正，或工件互相有屏蔽。解决方法：将工件进行适当的调整，使工件与阴极的位置适当，使电力分布合理。7.抛光后工件表面平整光洁，但有些点或块不够光亮，或出现垂直状不亮条纹，一般是什么原因引起的？原因分析：可能是抛光后期工件表面上产生的气泡未能及时脱离并附在表面或表面有气流线路。解决方法：提高电流密度，使析气量加大以便气泡脱附，或提高溶液的搅拌速度，增加溶液的流动。8.零件和挂具接触点无光泽并有褐色斑点，表面其余部分都光亮是什么原因？原因分析：可能是零件与挂具的接触不良，造成电流分布不均，或零件与挂具接触点少。解决方法：擦亮挂具接触点，使导电良好，或增大零件与挂具的接触点面积。9.同一槽抛光的零件有的光亮，有的不亮，或者局部不亮。原因分析：同槽抛光工件太多，致使电流分布不均匀，或者是工件之间互相重叠，屏蔽。解决方法：减少同槽抛光工件的数量，或者注意工件的摆放位置。10．为什么抛光零件凹入部位和零件与挂具接触点接触附近有银白色斑点？原因分析：可能是零件的凹入部位被零件本身或挂具屏蔽了。解决方法：适当改变零件位置，使凹入部位能得到电力线或缩小电极之间距离或提高电流密度。11.已严格按照工艺规范操作，为什么抛光后零件表面有或多或少的过腐蚀现象？原因分析：是否溶液温度过高或电流密度太大，如果溶液配制没有问题，又严格操作，则可能是抛光前的处理问题。解决方法：严格执行电化学抛光前处理的操作，在酸洗过程中避免过腐蚀。不要把清洗水留在零件表面，带进抛光槽。12.“不锈钢通用电解液”为什么使用一段时间会出现泡沫？原因分析：工件表面未除油，一些油污浮在电解液表面，对操作带来了困难。解决方法：已经出现此情况的，建议将表面的油污捞出，未出现的建议在抛光前进行除油。13.电化学抛光液内硫酸与磷酸之间有什么关系？原因分析：硫酸较多，抛光速度过快，对金属基体可加快腐蚀，磷酸较多，可在工件表面吸附一种黏膜，亮度下降，抛光速度变慢。当然也不排除其他因素。解决方法：调整硫酸磷酸合适比例。也可以选择“各种无铬电解添加剂”配方。14.工件抛光后表面无光泽，在浅黄色底子上有白色斑点，一般什么原因引起的？原因分析：可能是电解抛光溶液中铬酐含量过高，甚至超过1.5%。解决方法：铬离子属于重金属离子，对人体有致癌作用，污染环境，可选用无铬抛光液。推荐使用“不锈钢通用电解液”。15.电解液成本核算主要是哪些？主要是电费、电解液、整流器、电解槽、极板、铜棒、加热管等。16.不锈钢各种材质在电解抛光时电流密度是多少？与电解成本有什么关联？原因分析：在市场常规情况下不锈钢各种材质在电解液的密度为：200系列不锈钢材质电流密度在25—50安培之间，300系列不锈钢材质电流密度在15—30安培之间，400系列不锈钢材质电流密度在30—55安培之间。200系列不锈钢材质电流密度在15—25安培之间，300系列不锈钢材质在10—15安培之间，400系列不锈钢材质在25—30之间。电流密度越大，耗电量越大。而在电解成本核算中，电费所占的比例很大。17.抛光后经擦拭干净扔无光泽，有浅兰色阴影什么原因？原因分析：可能是电化学抛光液配制后，未进行加热及通电处理，或溶液操作温度偏低。解决方案：120℃下加热电抛光液一小时或将电解液加热到规定温度。18.抛光后无光并且有黄色斑点是什么原因引起的？原因分析：可能电化学溶液的相对密度偏小，已小于1.70。解决方案：调整电抛光的相对密度或在80—100℃条件下加热浓缩以增大起相对密度。或是更换新液。19.工件抛光后，为什么从槽中取出就出现褐色斑点？原因分析：可能是电抛光不够，或是时间较短。解决方法：首先适当延长抛光时间，如果无作用，则可能是温度或者电流密度不够的问题。20.电解时为什么容易出现打火现象？原因分析：导致这一现象有三点因素：一是挂具与工件接触点不牢固，二是电解液密度太低，三是电流密度过高。解决方法：多换几种挂具与工件连接方法，尽量多增加挂具与工件的接触点。如是电解液密度太低，可更换电解液，建议选用“不锈钢通用电解液”。21.不锈钢电解液操作温度对电解抛光有什么影响？最佳温度是多少？原因分析：一般电解液使用温度为50—90℃之间，温度较低，抛光速度较慢，光亮度下降。温度过高，液体对工件腐蚀加快，容易引起工件过腐蚀，电解液有效成分容易分解。解决方法：温度较低应加热到规定温度，加热可使用各种加热管（如石英，钛材质加热管），长时间工作温度会上升，当温度超过90℃时应停止工作，散热可选用搅拌或冷却循环方式。最佳使用温度是50—90℃，“不锈钢通用电解液”的最佳使用温度为50—80℃。22.不锈钢工件表面凹凸不平，麻点呈凸状，什么原因引起的？原因分析：表面锈蚀较多，电解液只是微观腐蚀整平，较多的锈蚀电解液不能完全清除，如延长抛光时间，大量铁离子沉入电解液底部，降低电解液使用寿命。解决方法：将工件表面的锈蚀清除干净。推荐使用“不锈钢活化液”，“除锈水”，“氧化皮清除液”等产品进行清洗除锈。23.影响电化学抛光的主要因素有哪些？温度，时间，工件材质，电解质，电压，电流，工件摆放位置。24.在做不锈钢电解抛光时，表面吸附一层浅红色物质，再次放入电解液会有短时间的反应，什么原因？原因分析：用铜挂具，铜离子进入电解液吸附到阳极表面，影响抛光质量，再次放入会有短时间反应是因为电解液将工件表面的铜离子溶解了。解决方法：选用钛挂具，在夹具裸露处用聚氯乙烯树脂烘烤成膜，在接触点刮去绝缘膜，漏出金属以利于导电。25.阴阳极的最佳面积比是多少？阳极比阴极为1：2—3.5之间。26.两极最佳极距是多少？阴极距阳极最佳距离为10—30厘米。27.不锈钢通用电解抛光液在老化后怎样维护？不锈钢通用电解液老化后可以添加硫酸（密度为1.84），添加量为槽液重量的6%，或是参考386a·h/l.28.初次进行电解抛光，不仅没有抛出亮度，而且工件表面全部变成黑色或灰色，是什么原因引起的？原因分析：发生这种现象一般是两极接反了，接反后铅板成正极溶解，工件成阴极吸附，工件溶解在溶液中的铁镍铬离子吸附在工件表面，形成了一层结合力不好的膜层。解决方法：将正负极重新连接，阳极接正极，阴极接负极。