MEMS是什么意思2,mems在机械工程中属于什么领域3,RFMEMS是什么技术4,微机电是干什么一5,由MEMS技术研发的产品及详解6,纳米技术在医学中的运用1,MEMS是什么意思微机电系统(MEMS)谢谢采纳2,mems在机械工程中属于什么领域MEMS一般指微机电系统微机电系统(MEMS,Micro-Electro-MechanicalSystem),也叫做微电子机械系统、微系统、微机械等,是在微电子技术(半导体制造技术)基础上发展起来的,融合了光刻、腐蚀、薄膜、LIGA、硅微加工、非硅微加工和精...
更新时间:2023-08-29标签: mems技术MEMS是什么意思 全文阅读