简述光刻的工艺过程步骤2,什么是光刻技术3,打印机的光刻工艺是什么意思4,光刻工艺的原理是什么5,光刻曝光技术的主要流程及每个步骤的意义6,光刻技术的原理是什么1,简述光刻的工艺过程步骤1.wafer表面处理;2.旋涂光刻胶(包括抗反射层)3.前烘;4.曝光;5.后烘;6.显影,有的需要在显影前进行坚膜;7.刻蚀2,什么是光刻技术http://www.cnieee.com/wdj/gk/200903/4107.html光刻技术:集成电路制造中利用光学-化学反应原理和化学、物理刻蚀方法,将电路图形传递到...
更新时间:2023-08-29标签: 光刻工艺简述工艺过程光刻工艺 全文阅读