多晶硅生产工艺，多晶硅的生产工艺是
多晶硅的生产工艺是2，多晶硅的生产工艺3，多晶硅生产工艺流程4，冶金法生产多晶硅的工艺流程1，多晶硅的生产工艺是晶硅的生产工艺主要由高纯石英（经高温焦碳还原）→工业硅（酸洗）→硅粉（加HCL）→SiHCL3（经过粗馏精馏）→高纯SiHCL3（和H2反应CVD工艺）→高纯多晶硅其他不知道，呵呵2，多晶硅的生产工艺流化床法以四氯化硅、氢气、氯化氢和工业硅为原料在流化床内（沸腾床）高温高压下生成三氯氢硅，将三氯氢硅再进一步歧化加氢反应生成二氯二氢硅，继而生成硅烷气。制得的硅烷气通入加有小颗粒硅粉的流化床反应...
更新时间：2023-08-18标签： 多晶硅生产生产工艺工艺多晶硅生产工艺 全文阅读