外延工艺,碳化硅碳面对外延有影响吗?
外延生长的原理外延层的生长方法有很多种，但使用最多的是气相法外延工艺。碳化硅的碳面对外延有影响吗？是的外延工艺是整个行业非常关键的一个流程，因为现在所有的器件基本都是在外延上实现的，外延的质量对器件的性能影响很大，但是外延的质量也受晶体和衬底的影响，总之，碳化硅器件制备的成功需要碳化硅衬底生长和外延工艺的协同优化。1、碳化硅衬底生长和外延哪个更关键1两者同样重要。2碳化硅衬底生长的关键在于生长高质量、低缺陷的衬底，而外延则需要在衬底上生长高质量、厚度均匀的晶体层，两者缺一不可。此外，碳化硅衬底的选择和制备...
更新时间：2024-01-08标签： 外延工艺碳化硅器件衬底 全文阅读