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MEMS是微电子电路技术与微机械系统相结合的工业技术。其工作范围在微米级，生产分为前端工艺和后端封装工艺。其中，前端工艺主要包括晶圆清洗、光刻、刻蚀等步骤；后端封装流程主要包括测试和封装，每一步都有不同的设备，但需要先进和精准。就硅控压力传感器的封装而言，内应力(胶粘剂的固化、温度等。)在安装过程中应尽量避免，贴合前后压力传感膜的初始变形应尽量减小，以避免传感器输出信号的零偏差。目前这家卓星半导体做的不错，他们的AS8100系列是专门针对MEMS封装设计的，实现高精度的贴装技术。此外，卓星半导体还可以为定制半导体封装提供专业的整体解决方案。
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