icp刻蚀，感应耦合等离子体刻蚀机工作原理是什么
感应耦合等离子体刻蚀机工作原理是什么2，LEDPSS什么意思3，求助ICP原理4，什么是icpaes5，如何使氧气放电6，专业技术词汇解释呢1，感应耦合等离子体刻蚀机工作原理是什么利用ICP产生高密度等离子体，等离子体中的活性基团或者离子与所需刻蚀的材料发生化学反应，并去除；一般在刻蚀的过程中同时也伴随着物理轰击，并把相应的键能打开，从而加速反应的进程。2，LEDPSS什么意思PSS(PatternedSapphireSubstrate)，俗称图形化衬底，也就是在蓝宝石衬底上生长干法刻蚀用掩膜，用标准...
更新时间：2023-08-25标签： icp刻蚀感应耦合icp刻蚀 全文阅读